近来,北京铭镓半导体有限公司在其研发领域取得了重大进展,通过采用先进的导模法,成功地制备出了高质量的4英寸主面氧化镓单晶,并实现了四英寸氧化镓晶圆衬底技术的关键突破。该公司不仅完成了这一技术上的飞跃,还进行了多轮重复性实验验证,确立了其作为国内首家中规模掌握第四代半导体氧化镓材料4英寸相单晶生长技术的产业化先锋的地位。此举标志着铭镓半导体在技术创新和产业应用方面迈出了实质性的一步。
经过深入的评估与检测,验证了该半导体器件在工艺处理及制造技术上的卓越表现,确保其性能达到了行业高标准。通过劳厄测试,观察到衍射斑点呈现出清晰而对称分布的特性,这不仅彰显了晶片固有的单晶体属性,同时排除了孪晶结构的可能性。X射线衍射分析进一步确认,晶面的半峰全宽低至72弧秒,这一数值反映了极高的结晶度与均匀性。此外,采用原子力显微镜测量后,芯片表面的粗糙度降至仅0.5纳米以下,展现出在精细加工工艺下,其表面光洁度达到了令人瞩目的水平。
单晶芯片RMS:0.490nm
芯片的摇摆曲线半高宽:72arcsec
氧化镓,作为第四代宽禁带半导体材料,紧随Si、SiC及GaN之后,以其β-Ga2O3单晶为基材的功率组件展现出显著的优势——具备极高的击穿电压和较低的导通电阻特性。这一特质赋予其在电力电子器件领域中极其出色的性能指标,低导通损耗与高功率转换效率是其标志性的特点,预示着在未来的能效提升和技术革新方面拥有广阔的应用前景。
作为全球科技版图上的重要一环,多个国家的半导体行业巨头已纷纷投身于氧化镓这一前沿技术领域的竞争与探索。在这一新兴领域中,各家企业竞相投入资源,旨在掌握未来电子元器件的核心材料技术。通过深入研究和实践应用,他们正合力推动氧化镓技术的发展进程,以期引领新一轮科技革命的方向。
早在二零零八年,京都大学的藤田学者宣告了他们对于氧化镓深紫外光检测与Schottky Barrier Junction以及在蓝宝石晶圆上进行外延生长的研发成就,这些突破性成果在日本乃至全球领域内均处于领先地位。
在2012年,日本取得了里程碑式的成就,在2英寸氧化镓材料领域实现了技术突破,并且在后续发展过程中,其NCT氧化镓材料的尺寸已能够扩展至6英寸之大。2015年的关键技术进步包括了优质氧化镓单晶衬底的成功开发,紧随其后的是在2016年推出了同质外延片,这一系列创新之举为基于氧化镓材料的器件研究领域点燃了爆发式的增长火花。自此以后,全球各国纷纷响应并加强了对氧化镓技术的投资与研发布局。
在二零一七年,国家科学技术部的高新技术部门,在其战略规划中甄选了若干关键技术领域作为重点研发对象,“氧化镓”便位列其中;翌年,北京市科学委员会则前瞻性地将资源倾注于前沿新材料的研究,将“氧化镓”视为核心项目予以优先推进。
目前,我国在氧化镓材料与器件的研究领域中,活跃着多个重量级的学术机构和企业单位。其中包括中国电子科技集团第四十六研究所、西安电子科技大学、山东大学、上海光机所、上海微系统所、复旦大学、南京大学等高等院校及科研机构;同时,铭镓半导体、深圳进化半导体、北京镓族科技、杭州富加镓业等企业也在这一领域展现出强劲的研发实力。这些单位和企业在氧化镓材料的探索与器件技术的发展上扮演着至关重要的角色。
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