在高端科研仪器国产化进程中，致真精密仪器持续以技术创新与场景化解决方案赋能科研与产业升级。近期，致真自主研发的原子力显微镜（AFM）产品成功交付探生科技、东北大学、厦门大学等多家标杆客户，针对不同领域的科研与产业需求，提供了兼具性能优势与定制化功能的高端检测设备，标志着国产 AFM 在多领域应用场景中的全面落地。
一、探生科技：多功能模块支撑探针验证
探生科技采购的致真 AtomExplorer 型原子力显微镜，凭借集成的多功能模块，为客户自研探针的各类验证提供了有力支持，成为其研发平台的核心装备。这款科研级原子力显微镜具备亚纳米级高分辨率，能够精准观察材料表面形貌与纹理，无论是纳米级别的细微结构，还是微米级别的宏观特征，都能清晰捕捉，为材料与芯片表面形貌分析提供详尽的视觉信息。
在功能拓展方面，Atom Explorer 还集成了磁力显微镜、静电力显微镜、开尔文显微镜、压电力显微镜等多种功能模块。其稳定性强、可拓展性良好，能够根据客户需求提供定制化服务。
二、东北大学：自动化仪器赋能高效科研
针对材料科学与智能制造领域的高频检测需求，东北大学采购的致真AtomEdge 型原子力显微镜，以 "智能化 + 易用性" 重新定义科研设备操作范式。设备自动化程度高，操作流程简单无需过多设置；机械结构设计合理，换针操作简单，显著降低科研人员的技术门槛，尤其适合多课题组共享使用场景。
三、厦门大学：多功能集成打破学科壁垒
厦门大学采购的致真AtomExplorer 型原子力显微镜，一套设备实现多种功能，包含形貌表征（轻敲模式、接触模式）、磁学测量（MFM 磁力显微镜）、电学分析（EFM 静电力显微镜、KPFM 开尔文探针力显微镜、PFM 压电响应力显微镜、STM 扫描隧道显微镜）等前沿功能，覆盖材料科学、凝聚态物理、电子信息等多个学科的检测需求，吸引了多个课题组前来培训学习。
四、国产高端仪器的破局之道：
从技术领先到场景深耕
1.科研级原子力显微镜 AtomExplorer
产品简介：
AtomExplorer科研级原子力显微镜具备亚纳米级高分辨率，用于观察材料表面形貌、纹理，能够在纳米级别到微米级别的尺度上捕捉材料表面的微小特征和细微结构，为材料与芯片的表面形貌提供详尽的视觉信息。该产品还集成了磁力显微镜、静电力显微镜、开尔文显微镜、压电力显微镜；稳定性强，可拓展性良好，提供定制服务。该产品作为高精度形貌表征和纳米磁学、电学测量工具，为高端科研与企业生产研发提供更多选择和助力。
产品特点：
体积小巧，适用于各种实验室环境
标配静电力(EFM)、压电力(PFM)、磁力(MFM)、开尔文(KPFM)
软件开放 可以用Labview调用
设备性能：
| 扫描范围 | 最大100 μm×100 μm×10 μm |
| 扫描方式 | XYZ三轴全样品扫描 |
| X/Y噪声水平 | 0.4 nm |
| Z向噪声水平 | 0.05 nm（开环） |
| 非线性度 | XY 0.02%，Z 0.08% |
| 图像采集点 | 32×32～4096×4096 |
| 样品台尺寸 | Φ20 mm |
| 工作模式 | 轻敲模式、接触模式、抬起模式、相位成像模式 |
| 多功能测量 | 静电力显微镜 (EFM)、扫描开尔文显微镜 (KPFM)、压电力显微镜 (PFM)、磁力显微镜 (MFM) |
2.小样品原子力显微镜AtomEdge
产品简介：
AtomEdge小样品原子力显微镜可对材料、电子器件、生物样本等进行三维扫描成像。本产品最大可兼容4英寸样品，具备接触、轻敲、非接触等多种工作模式，为用户提供了更为灵活和精准的操作选择。此外，它还集成了磁力显微镜、静电力显微镜、扫描开尔文显微镜、压电力显微镜、刻蚀和纳米操作等多种功能模式，稳定性强，可拓展性良好。根据实际需求，还可拓展近场光学、拉曼/荧光光谱联用、外加磁场、声学原子力等功能，是一款真正意义上的小样品原子力显微镜。
设备性能：
| 样品尺寸 | 最大直径100 mm，厚度10 mm，兼容直径100 mm培养皿 |
| 扫描方式 | XYZ三轴全样品扫描 |
| 扫描范围 | 90 μm×90 μm×9 μm |
| 扫描速率 | 0.1 Hz~20 Hz |
| XY方向噪声水平 | 0.2 nm闭环，0.02 nm开环 |
| Z方向噪声水平 | 0.04 nm闭环，0.03 nm开环 |
| 非线性度 | XY方向0.15%，Z方向：1% |
| 图像采样点 | 32×32 ~ 4000×4000 |
| 工作模式 | 接触、轻敲、非接触 |
| 适配环境 | 空气、液相 |
| 多功能测量 | 静电力显微镜（EFM）、扫描开尔文显微镜（KPFM）、压电力显微镜（PFM）、导电原子力显微镜（C-AFM）、扫描电容力显微镜（SCFM）、磁力显微镜（MFM）、横向力显微镜（LFM）、纳米刻蚀/加工、单点力谱曲线、力调制模式 |
应用案例：
3.大样品原子力显微镜AtomMax
产品简介：
利用微悬臂探针结构可对导体、半导体、绝缘品等固体材料进行三维样貌表征，可实现大晶圆级大样品形貌表征。电动样品定位台与光学图像相结合，可在 300X300 mm 区域实现1μm的定位精度，激光对准，探针逼近和扫描参数调整完全自动化操作。
设备性能：
| 样品尺寸 | 8寸晶圆并向下兼容 |
| 扫描范围 | 最大100 μm×100 μm×10 μm |
| 扫描角度 | 0-360° |
| 分辨率 |
Z轴闭环分辨率0.15 nm； X/Y闭环分辨率0.5 nm |
| 扫描探针XY方向图像分辨率 | 不小于32X32~4000X4000 |
| 工作模式 | 接触模式、轻敲模式、相位成像模式、抬起模式、多向扫描模式 |
| 多功能测量 | 静电力显微镜(EFM)、扫描开尔文显微镜(KPFM)、压电力显微镜(PFM)、磁力显微镜(MFM) |
应用案例：
此次多领域交付，不仅展现了致真 AFM 在噪声控制（开环纵向噪声低至 0.03nm）、分辨率（三维纳米级）、环境兼容性（空气、液相）等核心性能上的国际对标实力，更体现了其 "以客户需求定义产品" 的研发理念 —— 针对产业客户强调模块化与效率，针对高校客户侧重多功能与易用性，真正实现 "一客一策" 的精准赋能。
随着半导体、新能源、生物医药等战略新兴产业对纳米表征技术的需求爆发，致真正以 "国产仪器 + 场景化解决方案" 双轮驱动，致力于加速实现高端科研装备的自主可控，为中国科技创新注入 "硬核" 力量。
关于我们
致真精密仪器是以高端科研仪器、教学仪器、集成电路产线测试设备研发与生产为主要业务的国家高新技术企业、山东省瞪羚企业、国家专精特新“小巨人”企业。
一直以来致力于实现高端科技仪器和集成电路测试设备的自主可控和国产替代。致真精密仪器通过工程化和产业化攻关，已经研发了一系列磁学与自旋电子学领域的前沿科研设备，包括“原子力显微镜、高精度VSM、MOKE等磁学测量设备、各类磁场探针台、磁性芯片测试机等产线级设备、物理气相沉积设备、集成电路装备实训解决方案”等，如有需要，我们的产品专家可以提供免费的项目申报辅助、产品调研与报价、采购论证工作。
另外，我们可以为各位老师提供免费测试服务，有“磁畴测试”、“SOT磁畴翻转”、“斯格明子观测”、“转角/变场二次谐波”、“ST-FMR测量”、“磁控溅射镀膜”等相关需求的老师，可以随时与我们联系。
我们希望与更多优秀科研工作者和产业工作者合作，持续提供更加专业的技术服务和完善的行业解决方案！欢迎联系我们！
