近来，华为公司正式对外公布了其一项创新成果——编号CN202110524685.X的专利技术。此专利详细阐述了一种《反射镜、光刻装置及其控制方法》，揭示了公司在该领域的前沿探索与深度研究。
本发明揭示一种先进的反射镜、光刻设备及相应的操控策略。此创新设计旨在攻克由相干光源产生固有干涉图案而导致均匀性不足之难题，通过在极端紫外线范围内的光刻技术进行精心改良与优化，实现均匀光分布的目标。
此光刻系统整合了精密的相干光源1、智能可旋转的反射镜2以及高效照明系统3，共同构建起其核心架构。通过在装置内部署旋转机制，反射镜2得以灵活变动角度，增强系统的适应性和可控性。源自光源1的光线，在经由反射镜2的精确引导后，被分解为若干子光束，并最终精准地投射至掩模版4之上，这一过程不仅确保了光刻工序的精细度和效率，亦彰显出技术的卓越与创新。
在这套精密体系中，照明系统三扮演着核心角色，它致力于输出高品质的均一光照，精确调控曝露强度，并支持偏心照明方式，旨在精进光刻工艺的分辨率与提升调焦深度，确保微纳世界中的精准绘图。
科勒照明体系的3D均匀光照功能，乃是由其精湛设计与创新技术所铸就，旨在营造出光线分布均衡、氛围优雅的空间环境。这一解决方案通过精确的光学原理，确保每一处光线均能细腻而均匀地投射，从而打造出既富于艺术美感又兼具功能性之境域。
此照明系统由三部分精巧构成：其一为视野调控的飞眼镜片，其二为光孔调节的飞眼镜片，最后是中继镜组。此设计集成精密光学技术，旨在优化光线分布与视野范围。
在系统构架之中，中继镜组33的作用通常囊括多枚或更多镜片，其协同工作以优化光束的传输与聚焦过程。照明系统3通过配置有视场复眼镜31的装置，能将源自相干光源1的光线细分为若干子光束，并随后借助于光阑复眼镜32进行方向与视野形状的精确调控。
紧接着，这系列经由专门调整后的子光束再被中继镜组33所接收。此阶段内，中继镜组不仅负责对视野大小实施进一步的优化，还可能在必要时调整其几何形态，最终将光线恰当地投射至掩膜版4的指定区域。这一系列精确而有序的操作，旨在确保光源的能量能够高效、精准地分布于所需照明区域内，从而实现高精度的光学成像与加工任务。
通过在连接相干光源 1 和照明系统 3 的光路径中布置反射镜 2，实现了来自相干光源 1 的光线在经过可旋转的反射镜 2 后，其相位持续变动的效果。
透过镜像反射之后的光线，经过照明系统精确地分割为多组子光束，并导向掩膜版区域，在该处光束形成了连续动态变化的干涉图案。这一过程确保了照明视野在曝光周期内，光能分布均匀一致，最终实现了光强的均衡化目标，有效解决了先前由于相干光源产生固定干涉模式而难以实现均匀光照的技术难题。
