分析稳定系统中惯性MEMS的频率响应

2023-07-09

"mems"特点是什么?

  MEMS一般指微机电系统
  微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
  MEMS系统特点:
  1)微型化:MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。
  微机电系统
  2)以硅为主要材料,机械电器性能优良:硅的强度、硬度和杨氏模陆歼量与铁相当,密度类似铝,热传导率接近钼和钨。
  3)批量生产:用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS。批量生产可大大降低生产成本
  4)集成化:可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体,或形成微传感器阵列、微执行器阵列,甚至把多种功能的器件集成在一起,形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电早闹冲子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。
  5)多学科交叉:MEMS涉及电子、机械、材料、制造、信息与自动控制、物理、化学和生物等多种学科,并集约了当今弯仿科学技术发展的许多尖端成果。

如图(

设乘法器的输出为x(t),则船犯差转有 Y(jω)=H(jω)X(jω) 只要求出X(jω)即可求出Y(jω),再进行傅里叶反变换,即可求出y(t)。 因为 x(t)=f(t)s(t) 所以根据频域卷积定理 利用对称性,可以求论称过景素得 而 S(jω)=π[δ(ω-1000)+δ(ω+1000)] 由图(b)可知 H(jω)=g 2 (ω-1000)+g 2 (务均乡ω+1000) 因此,系统输出教投按名具女研哥载度的频谱为 Y(jω)=X(jω)H(jω) 利用频移特性,可得该系统的输出

如何用系统的零极点分布分析系统的频率响应特性

1、系统函数的零极点对系统频率特性有何影响? 极点会使调节时间变短,是系统反应更快,但是也会使系统的稳定性变差,零点一般是使得稳定性增加,但是会使调节时间变长;极点主要影响频率响应的峰值,极点愈靠近单位圆,峰值愈尖锐;零点主要影响频率特性的谷值,零点愈靠近单位圆,谷值愈深(当零点在单位圆上时,频率特性为零)。 2、 系统函数的零极点对系统冲激响应有何影响? (1)冲激响应波形是指指数衰减还是指数增长或等幅振荡,主要取决于极点位于s左半平面还是右半平面或在虚轴上。 (2)冲激响应波形衰减或增长快慢,主要取决于极点离虚轴的远近。 (3)冲激响应波形振荡的快慢,主要取决于极点离实轴的远近。 零点分布只影响冲激响应函数的幅度和相位,不影响响应模式。 3、 若某因果系统不稳定,有哪些主要措施可使之稳定? 答:对于结构不稳定系统,改变系统结构后,只要适当选配参数就可使系统稳定。

文章推荐

相关推荐