mems传感器是什么
就是采用mems技术制造的压力传感器。mems是和卖颤微机电系统（micro-electro-mechanical
systems）的英文缩写。mems是美国的叫法，在日本被称为微机械，在欧洲被称为微系统，它是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统配扒。mems是随着半导唤败体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的，目前mems加工技术还被广泛应用于微流控芯片与合成生物学等领域，从而进行生物化学等实验室技术流程的芯片集成化。
什么是微机电传感器技术？
一般传感器的输出信号（电流或电压）很弱，若将它连接到外部电路，则寄生电容、电 阻等的影响会彻底掩盖有用的信号，因此采用灵敏元件外接处理电路的方击袁视妒剧法已不可能得到质 量很高的传感器，只有把两者集成在一个芯片上，才能具有最好的性能，系统单片集成化的 MEMS便应运而生。MEMS是从半导体集成电路技术发展而来的，但MEM360问答S器件芯片一 般都有活动部件，这是MEMS器件与集成电路芯片的主要不同。MEMS指的是微机电系统，也即指微小的机械电子系统，因为此系统既包含机械部件 又包含电子部件，因此称这类微小的机械电子系统为微机电子系数。微机械电子系统是微电 子技术的拓宽和延伸.于静跳异血任支了左它是将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，并将微电子与机械 融为一体的系统。这些传感器的体积和能耗小，可实现许多全新的功能，便于大批量和高精 度生之权棉觉免基断司告产，单件成本低，易构成大规模和多功能阵列，这些特点使得它们非常适合于汽车方面 的应用。路传感器，或是将分立的小型传感器制作在硅片上，例如集成化温度、压力传感器及霍尔电 路等；集成传感器备分土由突抗在汽车上的运用。-的模拟信号（如 这就是所说的数被测一-量图1-1智能压力传感器的组成
mems的全称
全称Micro Electromechanical System 微机电系统 http://www.memschina.com/ MEMS(Micro Electromechanical System，即微电子机械系统)是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。概括起来，MEMS具有以下几个基本特点，微型化、智能化、多功能、高集成度和适于大批量生产。 MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。其研究内容一般可以归纳为以下三个基本方面： 1．理论基础： 在当前MEMS所能达到的尺度下，宏观世界基本的物理规律仍然起作用，但由于尺寸缩小带来的影响（Scaling Effects），许多物理现象与宏观世界有很大区别，因此许多原来的理论基础都会发生变化，如力的尺寸效应、微结构的表面效应、微观摩擦机理等，因此有必要对微动力学、微流体力学、微热力学、微摩擦学、微光学和微结构学进行深入的研究。这一方面的研究虽然受到重视，但难度较大，往往需要多学科的学者进行基础研究。 2．技术基础： MEMS的技术基础可以分为以下几个方面：（1）设计与仿真技术；（2）材料与加工技术（3）封装与装配技术；（4）测量与测试技术；（5）集成与系统技术等。 3．应用研究： 人们不仅要开发各种制造MEMS的技术，更重要的是如何将MEMS技术与航空航天、信息通信、生物化学、医疗、自动控制、消费电子以及兵器等应用领域相结合，制作出符合各领域要求的微传感器、微执行器、微结构等MEMS器件与系统。
