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盛美上海获得欧洲一家全球性半导体制造商的单片SAPS兆声波清洗设备采购订单

2023-02-27

在二零二三年的二月二十五日，盛美上海公司欣然宣布，已荣获欧洲一家全球领先的半导体制造企业首个订单，该订单涉及十二腔体单片兆声波清洗设备的采购。此款设备搭载了公司自主研发的空间交变相位移技术，计划于今年第四季度交付至该企业在欧洲的工厂。

上海盛美公司自主研发的空间交变相位移先进晶圆清洗技术，巧妙地采用了兆声波交替相位的变化，以此来精确调控兆声波发生器与待清洗晶圆之间的间距。相较于传统兆声波清洗系统中固定不动的兆声波源，SAPS工艺通过动态调整兆声波发生器和旋转中的晶圆间的关系，即使在晶圆存在轻微翘曲的情况下，也能确保其表面各点均匀地接受到兆声波能量的洗礼。这一创新方案不仅显著提升了清洗效率，而且避免了额外材料损耗，并有效减少了对晶圆表层可能造成的损伤。

SAPS工艺所展现出的强大性能，在先进DRAM制造领域得到了广泛验证与高度认可。其清洗效果的全面性、彻底性以及良好的可靠性，为半导体行业提供了革命性的清洗解决方案，标志着在晶圆处理领域的技术进步和创新里程碑。

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