100nm提升至50nm!中国长城半导体激光隐形晶圆切割技术取得重大突破

2021-09-30

将100纳米升级至50纳米,无疑在性能与效率的维度上实现了一次华丽的飞跃。这一转变不仅标志着技术精密度的显著增强,还预示着能效比、速度以及整体系统稳定性的大幅提升。通过此优化过程,我们不仅能触及微观世界的更深层次,还能解锁前所未有的创新潜力与应用可能性。从逻辑处理的加速到能源消耗的减少,每一个方面都展现出显著的进步,为科技领域开辟了全新的前沿边界。

近来,半导体领域的喜讯迭起,尤其引人瞩目的是中国长城在晶圆处理技术层面实现的卓越成就。通过郑州轨道交通信息技术研究院与河南通用智能装备有限公司的合作,他们仅用时一年便完成了半导体激光隐形晶圆切割设备的技术升级,成功将分辨率从100纳米提升至50纳米,这一精度已跃升至行业顶尖水平,并实现了对晶圆背面加工功能的驾驭。

与此同时,此团队持续优化工艺流程,在巩固硅材料切割技术的基础上,更进一步地拓展了对CIS、RFID、碳化硅以及氮化镓等多元材料的技术处理能力。此举不仅大幅提升了我国智能装备制造领域的整体实力,同时也树立了推动该领域发展的里程碑事件。

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HGL1341晶圆激光隐切设备

半导体工业被誉为国家科技的璀璨明珠,而晶圆分割工艺则是其核心环节,恰如心脏般的重要。经过"电路构建"后的每一枚晶圆,凝聚了无数具有独立功能的微小晶体,这些在数以千计、万计乃至十万个以上。切割过程的精巧与否直接影响着整个半导体生产链的“效率”与“市场竞争力”。

2020年5月,中国长城旗下的郑州轨道交通研究院携手河南通用智能装备有限公司,共同研发并制造出国内首台半导体激光隐形晶圆切割机,这一壮举填补了国内在此领域的空白。他们在半导体激光隐形晶圆切割技术领域成功打破国际垄断,关键技术指标达到了世界领先水平。此成就标志着我国激光晶圆切割行业的崭新篇章已然开启。

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高精度气浮载台

在一次技术革新的迭代升级中,中国长城副总裁兼郑州轨道交通研究院院长刘振宇详述了改进后的激光晶圆隐形切割设备的卓越性能。这款先进设备能够灵活调整激光焦点的深度、长度以及两焦点间水平间距,得益于特殊材料、独创结构设计与高精度运动平台的深度融合。

即便在高达500毫米/秒的高速移动过程中,该系统仍能确保高稳定性与精准度切割,其激光焦点尺寸仅约为0.5微米,这一细微程度能够有效避免对材料表面的任何损伤。此设备的成功应用显著提升了芯片生产制造的质量、效率以及经济效益,标志着在精密工艺领域的重大突破。

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切割无崩边、无碎屑

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