科学家制造出新型铌酸锂-氮化硅激光器

2023-07-02

我国科学家首次获得纳米级光雕刻三维结构,这一重大发现究竟有什么意义呢?

首先是对于控制激光运动方向,在晶体内部形成有效电场,实现三维结构的直接写入和擦除有重要意义。这项新技术突破了传统飞秒激光器的光衍射极限,首次将光刻铌酸锂的三维结构尺寸从传统的1微米级缩小时间。纳米级,可达30纳米,大核告大提高加工精度。未来或可开辟纳氏雹光电芯洞帆片制造新赛道,有望用于光电调制器、声学滤波器、非易失铁电存储器等关键光电器件芯片制备,在 5G / 6G 通讯、光计算、人工智能等领域有广泛的应用前景。 

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其次是对于关键元器件的芯片制备有重大意义。要知道光刻,顾名思义,就是蚀刻,但对象不是硅片,而是光刻胶膜,就是改变光刻胶膜的一部分,用特殊的化学试剂清洗后,那部分就是光刻胶。照明和未照明的部分。此步骤称为显影,之后用蚀刻剂蚀刻图案。也就是说,在半导体工艺流程中,如果要在晶圆上制作图案,应该是光刻、显影、蚀刻。

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再者是对于推动高性能铁电畴壁纳米电子器件的发展有深远意义。如大容量可重写非易失性存储器;在声学领域,纳米周期铁电畴结构可以实现超高频声谐振器和滤波器。飞秒激光偏振技术可以进一步应用于其他铁电晶体,包括钽酸锂和磷酸钛钾晶体等,推动高性能三维光、声、电集成器件的发展。

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要知道的是作为当代科技发展的结晶,芯片在军事、民用等领域发挥着不可替代的重要作用。但随着集成电路的不断发展,传统电子集成电路在带宽和能耗方面逐渐逼近极限,光刻机出货量有限。因此,作为全球半导体产业的重要板块,光电芯片被业界视为“最有希望的接班人”。

YAG代表什么?

YAG=yttrium aluminum garnet (多用于激光技术)钇铝石榴石

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