什么是MEMS技术?
MEMS是微机械(微米/纳米级)与IC集成的微系统,即具有智能的微系统,MEMS基于硅微加工技术但不仅限于它。简单来说,MEMS就是对系统级芯片的进一步集成。我们几乎可以在单个芯片上集成任何东西,像运动装置、光学系统、发音系统、化学分析、无线系统及计算系统等,因此MEMS技术是一门多学科交叉的技术。MEMS器件价格低廉判卜森、性能优异、适用于多种应用,将成为影响未来生活的重要技术之一。
微电子机械系统(MEMS)技术是建弊亮立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术,是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。
这种 微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺,制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。 微电子机械系统(MEMS)是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术,该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。对 微电子机械系统(MEMS)的研究主要包括理论基础研究、制造工艺研究及应用研究三类。理论研究主要是研究微尺寸效应、微磨擦、微构件的机械效应以及微机械、微传感器、微执行器等的设计原理和控制研究等;制造工艺研究包括微材料性能、微加工工艺技术、微器件的集成和装配以及微测量技术等;应用研究主要是将所研究的成果,如微型电机、微型阀、微型传感器以及各种专用微型机械投入实用。
微电子机械系统(MEMS)的制造,是从专用集成电路(ASIC)技术发展过来的,如同ASIC技术那样,可以用微电子工艺技术的方法批量制造。但比ASIC制造更加复杂,这是由于 微电子机械系统(MEMS)的制造采用了诸如生物或者化学活化剂之类的特殊材料,是一种高水平的微米/纳米技术。微米制造技术包括对微米材料的加工和制造。它的制造工艺包括:光刻、刻蚀、淀积、外延生长、扩散、离子注入、测试、监测与封装。纳米制造技术和工艺,除了包括微米制造的一些技术(如离子掘亩束光刻等)与工艺外,还包括利用材料的本质特性而对材料进行分子和原子量级的加工与排列技术和工艺等。 微电子机械系统的制造方法包括LIGA工艺(光刻、电镀成形、铸塑)、声激光刻蚀、非平面电子束光刻、真空镀膜(溅射)、硅直接键合、电火花加工、金刚石微量切削加工。
一个完整的MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一
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本田思域故障码p0717解决方法
输入轴主轴速度传感器无信号输入,涡轮转速百传感器(TSS),也叫输入轴转速传感器(ISS),其作用是将输入轴(也就是液力变矩器)的转速以频率的形式输送给变速器控制模块(TCU),这些信息对于调节液力变矩器锁定离合器尤为关键。该故障码表明输入轴转速传感器信号丢失。故障原因包括TSS传感器,或其电路,接头故障,电子度控制模块(PCM或ECM)故障等。
汽车故障排除后,需要清除故障代码。进行代码清除的时候,务必要按照指定车型所规定的故障代码清除方法来进行,一定不能直接拆除负极搭铁线来清除故障代码。否则,很可能会造成下面这两种情况问题版:第一,使某些车型的控制电脑失去“经验记忆”,很多车主都知道,大部份车型的中央电脑是具有记忆功能的,轻易拆除电池负极的搭铁线后,就会丢失随机存储器里面的发动机运行经验数据,从而导致你的爱车在维修后的相当长一段时间内性能都表现权不好,或行驶一段后,又重现已清除掉的故障代码;第二点,或许会造成正常功能的丢失,例如音响锁止这个功能就是常见状况之一,这情况下,要音响系统正常工作,就需要重新对音响进行修复,出现这情况,就很麻烦。