mems传感器是什么意思
MEMS传感器即微机电系统（Microelectro Mechanical Systems）
是在微电子技术基础上发展起来的多学梁芦和科交叉的前沿研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉及电子、机械、材料、物理学、化学橡盯、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。
截止到2010年，全世界有大约600余家单位从事MEMS的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中MEMS传感器占相当大的比例。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。
扩展资料
应用——
MEMS传感器应哗简用于无创胎心检测，检测胎儿心率是一项技术性很强的工作，由于胎儿心率很快，在每分钟l20～160次之间，用传统的听诊器甚至只有放大作用的超声多普勒仪，用人工计数很难测量准确。
而具有数字显示功能的超声多普勒胎心监护仪，价格昂贵，仅为少数大医院使用，在中、小型医院及广大的农村地区无法普及。此外，超声振动波作用于胎儿，会对胎儿产生很大的不利作用。尽管检测剂量很低，也属于有损探测范畴，不适于经常性、重复性的检查及家庭使用。
参考资料来源：百度百科-MEMS传感器
mems传感器的缺点？
虽然MEMS传感器有很多优点，如体积小、功耗低、灵敏度高、可制造成本低等，但它们也存在一些缺点：
精度来自和稳定性存在一定的挑战360问答，特别是在温度和湿度等不稳定环境下。
地磁干扰问题：MEMS传感器的短孙圆酒审材坏观较未然运动检测方式基于重力感应器和加速度计，当遭遇强烈的地磁干扰时，就会对其精度产飞友握生影响。
质量不可靠：一方面，MEMS制造工艺中不可控的缺陷可能会导致一定的质量问题；另一方面，简化设计和制造成本的动机会使得某些生产商标榜自己握拍的传感器采用得界守巴演延沿连耐染思MEMS制造，但实际质量不尽如此。
温度灵敏度：MEMS传感器的灵敏度会随着温度的变化而发生变化，需要校准措施。
攻击表面：MEMS传感器的微小放更茶缺坏吸刚模块在接触刚体表面时容易被损坏，例如产生摩擦或者被磕碰。
需要注意的御拿是，这些缺点并不是所有MEMS传感器都存在的，具体情况需要根据具体的应用环境段拆羡和需求来评估。
请教MEMS气体流量传感器的原理！
MEMS是热敏式的流量传感器，其工作原理如下：
