电容式mems加速度传感器原理是什么
MEMS加速度传感器是一种微机电系统(MEMS),它由一个可移动的悬臂梁、一个静电容器和一个固定的基座组成。悬臂梁上的电容器会受到外界加速度的影响而发生位移,从而改变电容器内的电荷分布。放在基座上的电容器则不会受到外界加粗指速度的影响,因此电容器内的电荷分布不变。
当悬臂梁受到外界加速度时,电容器内的电荷分布会发生变化,这会导致电容器内电荷的变化,从而产生一个电压差。铅凳中这个电压差与外界加速度成正比,因此可以通过测量这个电压差来推算出外界加速度的大小。
电容式MEMS加速度传感器的优点在于槐山它的制造成本较低,并且可以通过改变电容器的大小来调节传感器的灵敏度。缺点在于它的精度较低,并且很容易受到温度影响。
请教MEMS气体流量传感器的原理!
MEMS是热敏式的流量传感器,其工作原理如下: