MEMS传感器在工业领域有哪些应用？
工业类MEMS传感器是根据材料的物理、化学、生物学的特性和规律设计而成的器件，种类繁多，分类方法也比较多。以下则基，就亏慧是北京智芯传感为大家梳理一下工业类MEMS传感器类型：按用途分类，可分为压力、位移、速度、温度、湿度等传感器；按测量原理分类，可分为物理型传感器、化学型传感器和生物型传感器。如电压式、热电式、电阻式、光电式、电感式等；按制造工艺分类，可分为集成传感器、薄膜传感器、厚薄传感器和陶瓷传感器等等。想了解更多可销盯答以百度一下。
MEMS传感器主要应用于哪些领域
MEMS传感器已经被广泛地360问答集成到汽车电子、智能家境设职就离单命阳居、智能电网等物联网应用领域。
MEMS传感器在智能手机上，MEMS传感器提供在声音性能、场景切换、手势识别、方向定位、以及温度/压力/湿度传感器等广泛的应用；
MEMS传感器在汽车上，MEMS传感器借助气囊碰撞传感器、座罪晚组七胎压监测系统(TPMS)和车辆稳定性控制增强车辆的性能；
MEMS传感器医疗领域，通过MEMS传感器成功研制出微尽三脚耐础或盟杀型胰岛素注射泵，并使心脏孩处师凯称某跟阻半搭桥移植和人工细胞组织命响直成为现实中可实际使用的治疗方式；
MEMS传感器在可穿戴应用中，MEMS传感二任养东风派眼养器可实现运动追踪、心跳速率测量等；在城市建设领域，MEMS传感器可以协助监测基础设施建设的稳特温格但或看计下穿斗定性，营造充满活力的反馈系统……。
由MEMS技术研发的产品及详解
我认为 MEMS压力传感器的结构与工作原理及应用技术 MEMS是指集微型压力传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。 MEMS压力传感器可以用类似集成电路（IC）设计技术和制造工艺，进行高精度、低成本的大批量生产，从而为消费电子和工业过程控制产品用低廉的成本大量使用MEMS传感器打开方便之门，使压力控制变得简单易用和智能化。 MEMS压力传感器原理： 目前的MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。硅压阻式压力传感器是采用高精密半导体电阻应变片组成惠斯顿电桥作为力电变换测量电路的，具有较高的测量精度、较低的功耗，极低的成本。惠斯顿电桥的压阻式传感器，如无压力变化，其输出为零，几乎不耗电。 MEMS硅压阻式压力传感器采用周边固定的圆形的应力杯硅薄膜内壁，采用MEMS技术直接将四个高精密半导体应变片刻制在其表面应力最大处，组成惠斯顿测量电桥，作为力电变换测量电路，将压力这个物理量直接变换成电量，其测量精度能达0.01%～0.03%FS。硅压阻式压力传感器结构如图3所示，上下二层是玻璃体，中间是硅片，硅片中部做成一应力杯，其应力硅薄膜上部有一真空腔，使之成为一个典型的绝压压力传感器。应力硅薄膜与真空腔接触这一面经光刻生成如图2的电阻应变片电桥电路。当外面的压力经引压腔进入传感器应力杯中，应力硅薄膜会因受外力作用而微微向上鼓起，发生弹性变形，四个电阻应变片因此而发生电阻变化，破坏原先的惠斯顿电桥电路平衡，电桥输出与压力成正比的电压信号。 传统的机械量压力传感器是基于金属弹性体受力变形，由机械量弹性变形到电量转换输出，因此它不可能如MEMS压力传感器那样做得像IC那么微小，成本也远远高于MEMS压力传感器。相对于传统的机械量传感器，MEMS压力传感器的尺寸更小，最大的不超过1cm，使性价比相对于传统“机械”制造技术大幅度提高。
