于2022年12月20日，《上海市高端装备产业发展“十四五”规划》正式公布。此规划旨在至2025年末，构建起一个在全球范围内享有盛誉的高端装备制造创新引擎和核心技术创新发源地。
在我们的构想中，将全力推动高级装备制造领域的蓬勃发展，确保市级特色产业园区数量显著提升至20家或更多。我们将致力于建立100个国家级和市级企业技术创新中心，以促进关键装备与核心部件的创新研发，预计实现300项首台突破性成果。
此外，我们计划打造40家以上的高端装备智能工厂，旨在引领行业现代化转型，提升生产效率和产品质量。这一系列举措将汇聚科技与产业的力量，加速先进制造体系的完善与壮大，为推动经济高质量发展注入强劲动力。
在"十四五"规划框架内，上海市正致力于引领智能制造装备、航空航天设备、海工船舶与新能源设备等行业实现技术创新和升级，同时推动节能环保装备、高端医疗器械与微电子设备等关键领域加速增长。预期这些重点产业将从全球竞争格局中的“跟随者”和“并行者”，逐步跃升至行业“领航者”的地位。
《规划》明确指出了在微电子装备领域中，以实现核心技术的自主掌控与持续创新为战略核心，旨在推动产业升级和能力提升。
作为专注于集成电路装备领域的专业规划者和执行者，我们致力于推动技术创新，尤其聚焦于光刻、蚀刻、湿法处理、沉积工艺、离子注入、量测与检测等关键环节。
在先进光刻技术、高端蚀刻机、晶圆清洗设备、离子注入系统、气相沉积装置以及高精度的量测与检测工具领域，我们将全力推进核心技术的研发。通过协同合作和自主研发，我们旨在实现关键制程的技术突破，推动装备制造业的高质量发展。
同时，强化核心零部件的本土供应能力，是我们的战略重点。为此，我们专注于攻克光学、过滤、真空系统、运动控制、电控技术、密封设计、以及高纯度陶瓷材料等关键技术领域。通过这一系列努力，旨在构建更可靠、自主可控的集成电路装备产业链，确保关键环节的安全与效能。
此策略不仅增强了国家在高新技术领域的核心竞争力，还为实现可持续发展和创新驱动提供了坚实的科技基础。
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