1、生成版图,版图中会出现PMOS管和NMOS管。在上一节中,已经做好了反相器的原理图和进行了瞬态仿真。
这时设置好了之后,就会出现Layout编辑的界面,如果是重新新建一个就会是一个空白的layout界面,如果是打开原来就有的layout,原先有的器件就会显示。
在原理图中选中全部,也可以选择部分需要的,我现在的目的是想看看PMOS管和NMOS的结构,以及它有什么层,我就只选择了1个PMOS管和1个NMOS管
导入到layout中
这时将器件移动到合适的位置,上面的是PMOS管,下面的是NMOS管。
这时还有LSW,这里表示的是各种层。后面介绍MOS管或者设计集成电路的时候再来进行了解。
注意,有的时候导入之后,显示如下的框,这是没有把各个层都显示,需要利用快捷键Shif+f把显示层都显示。
这个是双阱CMOS工艺的主要流程图,对下面可以进行参考。
2、认识NMOS管的各层
认识之前,需要选中NMOS管的各层,并将其打散
接下来就可以一层一层的看了,选中一层按Q就可以得出是什么属性,是哪一层
外面的紫色的那一层是DG层,DG层是厚氧化层
蓝色的是SN层,N型注入
GT是多晶硅,对应的是栅极
红色的是AA,有源层,有源层是指将来要制作CMOS晶体管、电阻、接触电极等的区域
M1为金属1层
绿色为过孔层
总体就是
3、认识PMOS管的各层
NV层,为N will层,就是N阱层,主要的目的是在P型的衬底上形成N型区域——N阱,做为PMOS的衬底
DG层,和上面一样,DG层是厚氧化层
SP层为P型注入层
当然,这些MOS管也可以自己画。